薄膜测量

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薄膜测量

在外延、层结构的微电子和光电子设备的开发和批量生产中,X 射线计量是用于化合物半导体薄膜分析的理想工具。在对外延层、异质结构和超晶格系统的关键材料参数进行离位分析时,基于 X 射线法(比如 XRD、XRR 和 XRF)的测量工具已被证明非常有用。

何为 XRD?
材料研究

X 射线衍射是唯一一种可以揭示结构信息的实验室技术。
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