SuperQ Thin Film

Zur RFA-Analyse von Dünnschichten

SuperQ Thin Film ist die Softwareplattform für die RFA-Messsysteme von Panalytical. Durch die Softwareplattform SuperQ Thin Film wird eine genaue Prozesskontrolle und Wafer-Analyse einfacher denn je. Die Software ermöglicht die schnelle und automatische Verifizierung von Schicht- und Stapelinformationen über den gesamten Wafer und berechnet Dicke, Zusammensetzung, Stöchiometrie, Dotierungswerte und Gleichmäßigkeit für eine Vielzahl von Schichttypen und Stapeln.
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Funktionen

Verbesserte Benutzerfreundlichkeit

Die tägliche RFA-Analyse ist eine Routineaufgabe, die von unerfahrenen Mitarbeitern ohne weiteres und mit einem Minimum an Einweisung durchgeführt werden kann.


Einfache Anzeige der Ergebnisse

Die Ergebnisse können während der Messung online angezeigt werden, in einer Vielzahl von Formaten und mit einer unverwechselbaren Farbcodierung, die eine übersichtliche Entscheidungsfindung ermöglicht. Darüber hinaus können die Ergebnisse automatisch an Netzlaufwerke oder Drucker übertragen werden, um Berichte, Publikationen oder Präsentationen zu erstellen.


Verbesserte Benutzerfreundlichkeit

SuperQ Thin Film basiert auf der SuperQ von Malvern Panalytical, der RFA-Analysesoftware-Plattform, die mit den RFA-Spektrometern auf Wellenlängendispersivbasis von Malvern Panalytical verwendet wird und alle Funktionen zum Einrichten und Betrieb Ihres Spektrometers bietet. Die Zusammenstellung des Analyseprogramms wird durch die in die Software integrierte Intelligenz erleichtert, die auf Malvern Panalyticals mehr als 50-jährigen Erfahrung mit der RFA-Analyse basiert. Die tägliche RFA-Analyse ist eine Routineaufgabe, die von unerfahrenen Mitarbeitern nach minimaler Einweisung problemlos durchgeführt werden kann. Zahlreiche Funktionen verbessern die Benutzerfreundlichkeit der Software.

Technische Daten

Die Ergebnisse können während der Messung online angezeigt werden, in einer Vielzahl von Formaten und mit einer unverwechselbaren Farbcodierung, die eine übersichtliche Entscheidungsfindung ermöglicht. Darüber hinaus können die Ergebnisse automatisch an Netzlaufwerke oder Drucker übertragen werden, um Berichte, Publikationen oder Präsentationen zu erstellen.